Светочувствительный микроробот Monsieur, созданный компанией «Сэйко Эпсон Корпорэйшн» в 1992 г., имеет размер менее 1 см3 и весит 1,5 г. Робот собран из 97 отдельных деталей, он может передвигаться со скоростью 1,13 см/с в течение 5 мин при заряженном аккумуляторе.